半導(dǎo)體行業(yè)的創(chuàng)新周期往往非常短。根據(jù)摩爾定律，集成電路的復(fù)雜度每 12 到 24 個月就會提高一倍。但是，為了進一步推動小型化，全新的制造技術(shù)是不可避免的。盡可能高的精度在這里是一個至關(guān)重要的先決條件。可重復(fù)性、定位精度和控制最小運動的能力同樣也是重要的先決條件。可靠性和生產(chǎn)率是其他至關(guān)重要的方面。生產(chǎn)通常在潔凈室環(huán)境（至少達到潔凈室等級 ISO 6）中進行 - 并且越來越傾向于在真空環(huán)境（另外要求達到 10 或 12 mbar 的工作壓力）中進行。考慮到安裝情況，驅(qū)動器必須被設(shè)計得盡可能緊湊。我們提供了將極高的功率密度、高動態(tài)性和高精度相結(jié)合的解決方案。我們的驅(qū)動器可提供最佳的同步運行（即使在真空環(huán)境中），從而顯著提高吞吐量。